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半自动目检机(Semi automatic visual inspection machine)--WSI200系列

自动从晶圆盒内取出晶圆放到暂存区,进行宏观检测后,放到暂存区,再自动回收到晶圆盒。
Take out the wafer from the cassette and put it on the temporary storage area automatically. After macro detection , it is put on another storage area,and then recovered to the cassette。

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设备规格/Equipment Specifications

主要特征/Main Features

自动从晶圆盒内取出晶圆放到暂存区,进行宏观检测后,放到暂存区,再自动回收到晶圆盒。

Take out the wafer from the cassette and put it on the temporary storage area automatically. After macro detection , it is put on another storage area,and then recovered to the cassette。

主要应用/Main Applications

晶圆正反面宏观检测

Wafer front and back inspection

适合晶圆尺寸/Wafer Size

SEMI 标准:100mm/125mm/150mm/200mm/300mm(Options)

工位/Station

2~4 (Options)

检测模式/Inspection Modes

宏观检测/Macro Inspection

晶圆盒类型/Cassette Type

开放式晶圆盒/Open Cassette

晶圆盒来源/Cassette source

条码识别/Barcode

产量/Throughput

>200 WPH

末端执行器/end effector

真空吸附/Vacuum adsorption

软件/Soft ware

1.自主研发软件,可视化管理,操作简单,安全可靠。(Windows/RS232)

2.自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录

3.多种菜单模式及防呆报警配置

4.兼容多种通讯协议,与客户MES系统做无缝对接。

离子棒(Ionizer)

选配项/Options

照明/Lighting

选配项/Options

电力需求/POWER

AC 220 V, 50/60 Hz, 20A,Single Phase  (¢8mm air tube)

压空/Dry air

 0.4~0.6Mpa; 90L/min (¢8mm air tube)

真空/Vacuum

 -80~-70kPa (min); 25L/min (¢8mm air tube)

设备尺寸/Equipment Size

1600*1700*1550mm(L*W*H)

工作高度/Working height

750±50mm

重量/Weight

~350kg


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