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6&8寸晶圆分选机(Sorter)—WST200

技术优势:
* 支持多种通信协议SECS/Gem等;
* 支持兼容符合SEMI标准的晶圆传送盒;
* 高速度,高稳定性;
* 兼容Si/SiC;

全国服务热线:0512-66023466 / 17315821135


设备规格/Equipment   Specifications



主要特征/Main   Features

晶圆片的自动分选(可配定位与读码)/Wafer   sorter (Aligner or ID Reader)

适合晶圆尺寸/Wafer Size

150/200mm(Options)

机器人/Robot

单/双臂/Single/Double

工位/Station

2~8   (Options)

晶圆盒类型/Cassette Type

开放式晶圆盒或FOUP/   FOUP or Open Cassette

产量/Throughput

>300   WPH 

校准功能(Aligner)

选配项/Options

读码功能(OCR)

选配项/Options

翻转功能/Flip

选配项/Options

洁净单元/Clean   Unit

<Class1(Options)

电力需求/POWER

AC   220 V, 50/60 Hz, 20A,Single Phase    (φ8mm air tube)

压空/Dry air

 0.4~0.6Mpa; 90L/min (φ8mm air tube)

真空/Vacuum

 -80~-70kPa; 25L/min (φ6mm air tube)

重量/Weight

~500-750kg


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