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转换机(Wafer transformation machine)--WT200-A系列

晶圆从一个cassette转移到另一个Cassette
wafer transformation from the cassette to another cassette

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设备规格/Equipment Specifications

主要特征/Main Features

晶圆从一个cassette转移到另一个Cassette

wafer transformation from the cassette to another cassette

主要应用/Main Applications

晶圆从一个cassette转移到另一个Cassette

wafer transformation from the cassette to another cassette

适合晶圆尺寸/Wafer Size

100/150/200mm(Options)

工位/Station

2

晶圆盒类型/Cassette Type

开放式晶圆盒/Open Cassette

软件/Soft ware

1.自主研发软件,可视化管理,操作简单,安全可靠。(Windows/RS232)

2.自动传输或手动输入指令对Wafer进行传送和定位;追踪并保存记录

3.多种菜单模式及防呆报警配置

4.兼容多种通讯协议,与客户MES系统做无缝对接

电力需求/POWER

AC 220 V, 50/60 Hz, 10A,Single Phase  (¢8mm air tube)

压空/Dry air

 0.4~0.6Mpa; 90L/min (¢8mm air tube)

真空/Vacuum

 -80~-70kPa (min); 25L/min (¢8mm air tube)

设备尺寸/Equipment Size

1200*700*1500mm(L*W*H)

工作高度/Working height

750±50mm

重量/Weight

~150kg


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