8寸导片机—WT200B
技术优势：
* 25片同时转换；
* 支持兼容符合SEMI标准的晶圆传送盒；
* 高速度，高稳定性；
全国服务热线：0512-66023466 / 17315821135
设备规格/Equipment Specifications
主要应用/Main Applications | 一盒25片晶圆同时从一个cassette转移到另一个Cassette |
适合晶圆尺寸/Wafer Size | 150/200mm（Options） |
工位/Station | 2 |
晶圆盒类型/Cassette Type | 开放式晶圆盒/Open Cassette |
洁净度/Cleanliness | <Class10 |
电力需求/POWER | AC 220 V, 50/60 Hz, 10A，Single Phase （￠8mm air tube） |
压空/Dry air | 0.4~0.6Mpa; 90L/min（￠8mm air tube） |
设备尺寸/Equipment Size | 550*430*1050mm(L*W*H) |
重量/Weight | ~65kg |
